CVD管式爐 高溫電爐,，集真空管式爐，多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,，可根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì)生產(chǎn)（有雙溫區(qū),、三溫區(qū)、多溫區(qū)）,，可預(yù)抽真空（有高真空,、低真空），通多種氣氛（供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器）,。性能可靠,。控制電路選用模糊PID程控技術(shù),，具有控溫精度高,，溫沖幅度小,，性能可靠，簡單易操作等特點(diǎn),。

CVD管式爐廣泛適用于高,、中、低溫CVD工藝,，例如：碳納米管的研制,、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)的可控生長等等,；也可適用于金屬材料的擴(kuò)展焊接以及真空或保護(hù)氣氛下熱處理,。CVD管式爐 高溫電爐具有以下優(yōu)勢：

1、CVD管式爐采用高純石英管或剛玉管作為內(nèi)爐膛,。

2、CVD管式爐溫控系統(tǒng)采用進(jìn)口多段智能程序溫度控制儀控制,，溫度控制具有良好的穩(wěn)定性,、重復(fù)性。

3,、可拆卸式的三面密封方式,，具有良好的潔凈度和真空度；

4,、耐火,，保溫材料全部采用*進(jìn)的輕質(zhì)纖維制品，整機(jī)質(zhì)量輕,、能耗低,；

5、CVD管式爐加熱元件采用U型硅鋁（碳）棒或*電阻絲,。

CVD管式爐功能以及特點(diǎn)說明：

1,、CVD管式爐內(nèi)置兩個(gè)溫區(qū)，可以營造300℃內(nèi)不同的溫度梯度,；

2,、雙溫區(qū)控制系統(tǒng)采用PID方式控制，控溫儀表中可以設(shè)置30段升降溫程序,，每個(gè)溫區(qū)可以單獨(dú)控溫,；

3、采用KF快速法蘭密封,，只需要一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,，放、取物料方便快捷,，避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能,；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能,；

4、CVD管式爐爐蓋可打開,，可以實(shí)時(shí)觀察燒結(jié)的物料狀況,，并能迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)需要,；

5,、CVD管式爐爐膛采用進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料，保溫性能好,，耐用,，拉伸強(qiáng)度高，無雜球,，純度高,，節(jié)能效果明顯優(yōu)于國內(nèi)纖維材料；

6,、加熱元件采用內(nèi)嵌式高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,，經(jīng)久耐用，高溫度可達(dá)1200℃,。

7,、預(yù)留了真空、氣路快速接口,，可配合我司真空系統(tǒng),、混氣系統(tǒng)使用；

8,、CVD管式爐預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口,，可通過我司軟件，與計(jì)算機(jī)互聯(lián),，可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制,、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄,、輸出報(bào)表等功能,；可安裝無紙記錄裝置，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ),、輸出,。

9、CVD管式爐上蓋開啟自動(dòng)斷電,，超溫報(bào)警并斷電,，漏電保護(hù)，操作安全可靠,。